国内首台高端LED刻蚀机交付使用
来源:http://www.disiduboko.com 责任编辑:ag环亚娱乐平台 更新日期:2018-08-11 01:29

  国内首台高端LED刻蚀机交付使用

   近来,由北方微电子开发的ELEDETM330高密度等离子ICP刻蚀机完结拼装调试,正式交给客户运用。EledETM330是北方微电子半导体刻蚀技能在LED范畴的成功扩展,该设备的成功上线,标志着国产LED刻蚀设备已得到干流出产线的认可,使我国高端LED设备的国产化水平得到了新的进步。

  北方微电子多年来一向致力于半导体高端工艺配备的研制与制作。2009年北方微电子凭借半导体刻蚀设备范畴堆集的丰厚经历,开发了专为LED出产范畴的刻蚀使用而全新规划的感应耦合高密度等离子体刻蚀机。作为我国首台直接面向LED出产线的大产能刻蚀设备,ELEDE?330可满意蓝宝石衬底图形化刻蚀、Si衬底刻蚀以及GaN基外延层刻蚀等LED范畴一切刻蚀使用。ELEDE?330采用了适用于大规模出产的高产能规划,一次可完结27片2英寸GaN基外延层刻蚀或22片2英寸蓝宝石衬底刻蚀,大大进步设备产出功率;体系集成了高密度等离子体源、高寿数机械卡盘、精细的腔室温度控制体系、安稳的高精度压力控制体系、IC规范的中心喷嘴进气体系和IC等级的腔室外表处理等多项先进技能,用IC刻蚀工艺更为精细的规划要求来完成LED范畴更高功能的刻蚀工艺,以更大程度地进步LED芯片的发光功率。

  虽然有个稠密的国企布景,但北方微电子正稳步走在市场化的道路上。据介绍,北方微电子IC刻蚀正在进行32nm技能的研制,环亚娱乐ag国际厅。尽力追逐国际的脚步。一起依托多年来技能的堆集,北方微电子在PV与LED刻蚀范畴活跃开发除了市场化的产品,让业界感触到了国际化技能与本土化价格和效劳的魅力。